MEMS 讲堂丨加速度计工作原理及参数解密

MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。全世界有大约650余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品。

加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。

下面由 ADI 亚太区微机电产品市场与应用经理赵延辉为大家介绍MEMS加速度计工作原理，在本视频中，重点介绍了：

• 加速度在生活中的现象，并基于生活中的加速度现象引申到 MEMS加速度计的工作原理；

• 胡克定律和牛顿第二定律，以及如果结合这两个定律来推导出加速度的测量方法；

• 芯片级加速度计的运动示意，以及它的一些设计方法，难点和信号链；

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